Sasaran Sputtering Nb-zr

Niobium zirkonium alur sasaran sputtering (NbZr3, NbZr10, NbZr30)

Spesifikasi: diameter sasaran bulat (20-400) mm (3-28) mm * ketebalan

Spesifikasi sasaran persegi: ketebalan (1-20) mm * (10-1000) mm * lebar lebar (200-2000) mm

Realisasi kristal: sekurang-kurangnya 95%

Saiz bijian: minimum 40 m

Kekasaran permukaan: Ra 0.8 maksimum

Flatness: atau 0.1mm 0.10% maksimum.

Toleransi: toleransi garis pusat + / - 0.127

Kesucian: NbZr3 (tantalum tulen 97%, zirkonium murni 3%)

NbZr10 (tantalum tulen 90%, zirkonium tulen 10%)

NbZr30 (tantalum tulen 70%, zirkonium tulen 30%)

Sekiranya terdapat keperluan khas, kedua-dua pihak bersetuju