Niobium zirkonium aloi sasaran sputtering
(NbZr3, NbZr10, NbZr30)
Spesifikasi : diameter sasaran bulat (20-400) mm (3-28) mm * ketebalan
Spesifikasi sasaran persegi : ketebalan (1-20) mm * (10-1000) mm * lebar panjang (200-2000) mm Realisasi kristal: 95% pada
Sekurang-kurangnya saiz bijian : minimum 40 ...
Spesifikasi: diameter sasaran bulat (20-400) mm (3-28) mm * ketebalan
Spesifikasi sasaran persegi: ketebalan (1-20) mm * (10-1000) mm * lebar lebar (200-2000) mm
Realisasi kristal: sekurang-kurangnya 95%
Saiz bijian: minimum 40 m
Kekasaran permukaan: Ra 0.8 maksimum
Flatness: atau 0.1mm 0.10% maksimum.
Toleransi: toleransi garis pusat + / - 0.127
Kesucian: NbZr3 (tantalum tulen 97%, zirkonium murni 3%)
NbZr10 (tantalum tulen 90%, zirkonium tulen 10%)
NbZr30 (tantalum tulen 70%, zirkonium tulen 30%)
Sekiranya terdapat keperluan khas, kedua-dua pihak bersetuju
Sepasang: Tungsten Sputtering sasaran, sasaran satah, Rotatable
Seterusnya: Sasaran zirkonium satah dan rotatable